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작성자 정문경 작성일 21-11-30 21:04

본문

이메일 : mun.g.jeong@kaist.ac.kr
전화번호 : 042-350-3279
휴대전화 : 010-6316-6985
회사명 : 한국과학기술원
부서 : 기계공학과
담당업무 : 박사과정
안녕하세요. 한국과학기술원 생산및계측연구실 정문경입니다.
AET사 고온/고진공 히터 관련 문의드리고자 문의드립니다.

8 inch 지름의 Si 웨이퍼를 1x10-6 Torr 환경에서 1150 C로 어닐링 하고자합니다.
사용 시간은 5시간이내가 될 것으로 생각합니다.

위 환경에서 사용 가능한 히터가 있을 지, 온도 균일도는 얼마나 될 지 궁금합니다.
사용 가능한 제품이 있다면 히터와 컨트롤러, 파워 서플라이 등을 포함한 히팅 시스템 견적도 받고 싶습니다.

추가로 필요하신 정보가 있으면 연락 부탁드립니다.

감사합니다.
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